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真空燒結(jié)爐可以用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金,磁性材料和不銹鋼等不同情況下使用。在實(shí)踐中,真空燒結(jié)機(jī)是在壓力下進(jìn)行(壓力降低)的燒成。在較高的真空條件下,在較靠近于中性的環(huán)境下,其與物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)越少,是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備。我們下面來介紹下,不同情況下真空燒結(jié)爐的不同測量方法:
1、極限壓力的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)進(jìn)行試驗(yàn)。按正常工作條件啟動真空泵,直到爐內(nèi)壓力達(dá)到的低值即為爐子的極限壓力。
2、抽氣時(shí)間的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進(jìn)行抽空,從爐內(nèi)壓力為大氣壓開始到爐內(nèi)真空度達(dá)到產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的極限壓力為止的時(shí)間即為真空爐抽氣時(shí)間。油擴(kuò)散泵和油增壓泵的預(yù)熱時(shí)間不包括在內(nèi)。
3、最高溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進(jìn)行抽空,當(dāng)爐子真空度達(dá)到5Pa時(shí)開始加熱,溫度達(dá)到設(shè)計(jì)的最高溫度時(shí),保溫10min,此溫度即為爐子的最高溫度。
4、工作溫度的測量
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進(jìn)行抽空,當(dāng)爐子真空度達(dá)到5Pa時(shí)開始加熱,溫度達(dá)到設(shè)定的工作溫度時(shí),至少保溫2h,此溫度即為爐子的工作溫度。
5、爐溫均勻性的測量
試驗(yàn)規(guī)定如下:將測量爐溫均勻性的試驗(yàn)框架(-般為長方體)放進(jìn)真空爐,取長方體的八個(gè)相交點(diǎn)和長方體中心點(diǎn)共九點(diǎn)并與從爐體外引進(jìn)的九個(gè)熱電偶相接,然后關(guān)上爐門抽空。當(dāng)爐子真空度達(dá)到5Pa時(shí)開始加熱,爐子溫度達(dá)到800"C(最高溫度為1100C以下的真空爐,不含1100C)或1100C(最高溫度為1100C~2400C的真空爐)時(shí),保溫2h,然后用同一一個(gè)電位差計(jì)測量每個(gè)點(diǎn)的溫度,再算出各點(diǎn)的溫差即為爐子的爐溫均勻性。
6、真空爐控溫精度的測量(不含單點(diǎn)控溫)
在空爐冷態(tài)情況下,用真空爐本身配套的真空系統(tǒng)對爐子進(jìn)行抽空,當(dāng)爐子真空度達(dá)到5Pa時(shí)開始加熱,溫度達(dá)到設(shè)定的溫度時(shí),保溫30min,此時(shí)經(jīng)過校驗(yàn)的主控和輔控溫度表之間的差值即為真空爐的控溫精度。